无尘车间要控制相对湿度，以下几个影响因素也是关键：

金属腐蚀：很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。 

水蒸气气液分离器：在相的性干干空气水分子含量较高的区域环境中，萃取水形的孔隙管力在粉末和表面层上之中成型了连到键，能增大粉末与硅质表面层上的黏附力。一种边际效应——凯尔文萃取——当相的性干干空气水分子含量不大于50%时并不注重，但当相的性干干空气水分子含量在70%上下时，就变为粉末之中黏附的通常力度。 所以咧一定要要对无尘工厂工厂相的性干干空气水分子含量把控好。

光刻的蜕化：这在半导体器件无尘灰药厂车间、干净干燥室中急切必须 酌情管理的是光刻胶的敏锐性。犹豫光刻胶对对比而言空气环境对环境室内温度的十分敏锐的性能特点，它对对比而言空气环境对环境室内温度的的管理范围内的标准是严格要求的技能。现实情况软件上，对比而言空气环境对环境室内温度的和温对于那些光刻胶可靠性乃至准确度的尺寸大小管理有的是很核心的。乃至是在常温标准下，光刻胶的黏性将发生变化对比而言空气环境对环境室内温度的的上升的而急剧增涨。其中，变动黏性，就变动由稳固成分耐磨涂层造成的保护好膜的强度。

另外还有就会吸水能力性，在高的相应性温度生态下，因为的水分的获取，使烘烤间歇后光刻胶回缩诱发。光刻胶粘切实九游会游戏官方网站个也行面临较高的相应性温度的负面新闻损害；较低的相应性温度(约30%)使光刻胶粘着比较极易，而且不要聚合反应改善剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。

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